【專題 | 「半導體設(shè)備」刻蝕機_薄膜沉積設(shè)備_半導體封裝設(shè)備】

　　“儀器設(shè)備處于工業(yè)的核心地位，提高儀器設(shè)備水平，充分發(fā)揮其作用，才能促進半導體等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，并走向世界前沿。”中國科學院院士褚君浩在8月10日舉辦的第11屆(2023年)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會半導體設(shè)備年會暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇上表示。

　　半導體設(shè)備市場發(fā)展勢頭良好

　　半導體設(shè)備是支撐電子行業(yè)發(fā)展的基石。近年來，國內(nèi)多家半導體設(shè)備企業(yè)在關(guān)鍵領(lǐng)域取得了進展，材料零部件的龍頭企業(yè)也呈現(xiàn)出快速增長的趨勢。中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會理事長、北方華創(chuàng)董事長趙晉榮表示，10余年來中國半導體設(shè)備市場規(guī)模持續(xù)發(fā)展，尤其是近幾年，中國本土設(shè)備取得了較大進步。

　　根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會的統(tǒng)計，2022年，77家規(guī)模以上半導體設(shè)備制造商銷售收入累計完成593億元，同比增長53.6%。其中，前10家設(shè)備制造商完成銷售收入438億元。中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會常務(wù)副秘書長金存忠表示，今年1—6月，主要半導體設(shè)備進口額在減少，國內(nèi)企業(yè)半導體設(shè)備訂單在增長。預計2023年，本土的半導體設(shè)備銷售額將增長38%左右。

　　“為了保障全球產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈的暢通與穩(wěn)定，發(fā)展半導體設(shè)備、材料以及零部件至關(guān)重要。”華潤微電子有限公司執(zhí)行董事、總裁李虹表示，“中國在全球半導體市場中占據(jù)重要地位，也是全球最大的設(shè)備市場。在整個半導體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈中，目前中國廠商開始嶄露頭角，發(fā)展勢頭良好，市場規(guī)模逐年增加。”睿歷科學儀器(上海)有限公司總經(jīng)理兼首席執(zhí)行官楊峰表示，當前國內(nèi)半導體設(shè)備企業(yè)應把握發(fā)展機遇，首先在成熟工藝領(lǐng)域，新興的半導體設(shè)備企業(yè)有機會成為主力軍;其次在高階制程領(lǐng)域，只要加快研發(fā)進度和技術(shù)迭代，還是有機會趕上的。”

　　半導體設(shè)備廠商仍面臨諸多難題

　　中微半導體設(shè)備(上海)股份有限公司董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯表示，半導體設(shè)備要超前半導體制造3~5年開發(fā)新一代產(chǎn)品，雖然我國半導體設(shè)備經(jīng)過不斷地努力，已經(jīng)取得了長足的進步，但外國設(shè)備仍占國內(nèi)設(shè)備采購的85%左右。中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會副秘書長、積塔半導體(上海)有限公司總工程師李晉湘表示，半導體設(shè)備的研發(fā)和大生產(chǎn)應用是完全不同的，其中良率至關(guān)重要，如果沒有95%以上的良率，成本就不能降下來。

　　李晉湘同時指出，我國半導體設(shè)備廠商正面臨三個挑戰(zhàn)：一是缺乏某類設(shè)備，不能形成體系化生產(chǎn)流程;二是設(shè)備齊全，但特殊工藝要求無法滿足;三是設(shè)備和工藝雖然完善，但關(guān)鍵工藝不穩(wěn)定、不可靠。盛美半導體設(shè)備(上海)股份有限公司總經(jīng)理王堅也表示，中國半導體設(shè)備銷售額的成長速度飛快，從2008年的17億元，增長到了2022年的593億元。雖然取得如此大的成績，但是與全球市場規(guī)模相比還是很小，國內(nèi)半導體設(shè)備廠商仍面臨很多難題。根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)，2022年全球半導體設(shè)備的出貨額創(chuàng)下1076億美元的歷史新高，中國半導體設(shè)備投資額為283億美元，連續(xù)3年成為全球最大的半導體設(shè)備市場。

　　作者：許子皓　　來源：中國電子報、電子信息產(chǎn)業(yè)網(wǎng)

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